Pressemitteilung
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Innovative Nanotech Inc., ein Unternehmen mit Investitionen von Chroma ATE, entwickelt durch Technologietransfer von ITRI Halbleiter Frontend-Prozesskontrolle
2017/11/24

TAOYUAN, Taiwan, 24. November 2017 -- Innovative Nanotech Inc., ein Unternehmen mit Investitionen von Chroma ATE Inc., unterzeichnete am 24. November einen Vertrag mit dem Industrial Technology Research Institute (ITRI) zum Transfer der „Nanoparticles Monitoring Technology", einer Kontrolltechnologie für Nanopartikel. Darüber hinaus wird ITRI als wichtiger Anteilsinhaber von Innovative Nanotech fungieren. Erst kürzlich schloss Innovative Nanotech einen Vertrag mit dem Hsinchu Science Park zur Entwicklung und Schaffung von Kontrollsystemen für Nanopartikel in Flüssigkeiten ab. Derartige Systeme werden bei der Halbleiterherstellung verwendet, damit sich deren Ertragsrate verbessern wird.

ITRI
Figure:Chroma ATE Inc. CEO Leo Huang (right) signed a contract with Industrial Technology Research Institute (ITRI) on Nov. 24 for “Nanoparticles Monitoring Technology” transfer to Chroma's new startup company, Innovative Nanotech Inc.

Große Mengen von wässrigen Lösungen zum Säubern, Schleifen und Beizen der Wafer-Oberfläche werden oft während des Herstellungsprozesses von Halbleitern verwendet. Befinden sich Unreinheiten in dieser Lösung, erhöht sich die Fehlerquote. Die aktuelle Streulichtmessungstechnologie kann die Größe und Menge von Lösungsteichen unter 20 nm nicht präzise erfassen, was die Kontrolle des Herstellungsprozesses erschwert. Mit der Weiterentwicklung von 20 nm auf 10 nm oder auf bis zu 7 nm wurde dieser Pfad mithilfe minimierter Transistoren bereits weiter verkleinert. Wenn sich also Verunreinigungen wie Nanopartikel in der Lösung befinden, beeinträchtigt dies die fehlerfreie Quote des Produkts.

Innovative Nanotech wird die Halbleiterhersteller eine neue Generation eines Nanopartikelkontrollsystems (‘‘SuperSizer‘‘), das die Größe und Menge von Partikeln über 5 nm genau erfassen wird, vorstellen. So können die Hersteller notwendige Maßnahmen ergreifen und den Herstellungsprozess anhand der Kontrollergebnisse verbessern. Die Technik kann nicht nur für den Herstellungsprozess von Halbleitern, sondern auch in den Bereichen Elektronik, Optoelektronik und biomedizinische Materialien verwendet werden.

Innovative Nanotech wird durch die Integration der Vertriebs- und Marketingkanäle der Chroma Group in dem Weltmarkt expandieren. Chroma ATE Inc. ist ein weltweit führender Lieferant von automatisierten Testsystemen, intelligenten Fertigungssystemen sowie schlüsselfertigen Prüf- und Automationslösungen und bietet verschiedene Produktreihen zur Backend-Präzisionsmessung im Bereich der Halbleitertestung an. Innovative Nanotech wird der Anbieter von Frontend-Prozessprüflösungen für Chroma, um die die Testanforderungen des kompletten Halbleiterherstellungsprozesses zu erfüllen.